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光学轮廓Profilm3D仪器测试案例

2025-02-21

设备：光学轮廓 Profilm3D。

功能：可测量平整样品表面粗糙度，通过探针扫描记录探针垂直位移或光学干涉分析干涉条纹，获取 1mm×1mm 区域内的微观形貌数据，以此评估样品表面的粗糙程度。基于台阶测量扫描台阶两侧高度差并结合已知台阶高度，或利用光在介质界面反射和折射特性测量光程差来确定样品厚度。借助超精密载荷系统，用压头施压产生纳米级压痕，依公式算出涂层硬度值，衡量涂层抵抗局部变形能力。

测试图：

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